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2005年5月10日，由中国机械工业联合会主持，在沈阳仪表科学院召开了四项科研项目的专家鉴定验收会议。此次鉴定会对科技部社会公益研究专项资金项目“在线水质自动监测系统研究开发”、科技部科研院所技术开发研究专项资金项目“InSb薄膜磁阻器件的研制”进行了验收；对两个院管项目“高压喷射清洗技术及成套设备研制”、“精密半导体自动划片装备研制”进行科技成果鉴定。专家组认真审阅了资料，听取了课题组的详细汇报，考察了研制现场及实物，经过质询和评议一致认为：“在线水质自动监测系统研究开发”项目与“InSb薄膜磁阻器件的研制”项目各项技术指标均达到了计划任务书中规定的要求，产品已经进行批量生产，并进入市场。其中“在线水质自动监测系统研究开发”项目在通讯模块开发及应用技术，数据传输技术的应用方面及“InSb薄膜磁阻器件的研制”项目在“30纳米磁性薄膜制造工艺”方面具有一定的创新性。专家组一致通过两个项目通过验收。
“高压喷射清洗技术及成套设备研制”项目研制的120MPa超高压水射流清洗机、油田作业井架（车）自动清洗装备和深水井清洗及井底沉积物打捞工艺装备为国内首次研制成功。经检测和实际应用证明，技术设计合理，性能稳定可靠。与国内外同类产品相比，本项目整体技术水平达到国内领先，国际先进水平。“精密半导体自动划片装备研制” 采用的多种变节矩的切割方式，操作自动记忆功能等方面具有创新性。在国内首创了8英寸晶片的切割，并首次用于太阳能电池的切割。与国内外同类产品相比，本项目整体技术水平达到国内领先，在加工尺寸上达到国外先进水平。鉴定委员会一致同意两个项目通过成果鉴定。
专家组对沈阳仪表科学研究院项目组织实施管理给予了高度评价，对项目完成的质量给予了充分地肯定，并建议在现有基础上不断地发挥自身优势，进一步推广应用并扩展应用领域。
信息来源：中国仪器仪表行业协会
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