XPlanar 凭借其独特的六自由度设计、高精度定位能力以及无与伦比的输送路径灵活性,显著提升了晶圆在不同加工工站间的输送效率。
针对半导体行业的磁悬浮式晶圆输送解决方案

完整视频链接:https://mp.weixin.qq.com/s/EIkKhi5ibATUpfPixyCPBg
XPlanar 凭借其独特的六自由度设计、高精度定位能力以及无与伦比的输送路径灵活性,显著提升了晶圆在不同加工工站间的输送效率。
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